ナノ観察装置
電界放出形透過電子顕微鏡（TEM）
薄い試料を透過した電子を蛍光面に衝突させて、試料の拡大像を観察する装置です。ナノ薄膜の観察、ナノメートルでの分子や結晶の観察ならびに、細胞や生体物質の観察が可能です。バイオテクノロジー、半導体、化学など様々な分野で最先端の研究開発に活用できます。
装置の特長
- 熱電界放出形電子銃を搭載し、高分解能像観察およびナノ領域の分析に最高の性能を発揮
- 加速電圧300kVのC-FEGにインカラム方式のエネルギーフィルターを利用し、TEMモード、回折モードから簡単にフィルタ像を獲得、スペクトルも安定
- エネルギー分散形Ｘ線分析装置を装着しているため、微小領域の元素分析を非破壊で可能
主な仕様
| 粒子像分解能（UHR構成） | 0.17nm |
| エネルギー分解能 | 0.9eV（ゼロロス半値幅） |
| 加速電圧 | 最大300kV |
| 電子銃 | Zr0/W <100> ショットキー方式 |
| 倍率 | ×100〜×1 500 000 |
設置場所
バイオナノテクセンター（片柳研究所棟 地下1階分室1）電界放出形走査電子顕微鏡（SEM）
試料表面に電子線を照射し、試料から発生してくる２次電子を捕捉しディスプレイを介して観察する装置です。走査電子顕微鏡では、焦点深度が深いので試料表面を立体的に観察できます。
生体材料からポリマーまで様々な試料表面の微細領域の凹凸観察や、元素の分析が可能です。
バイオナノテクノロジー，半導体，化学など様々な分野で最先端の研究開発に活用できます。
生体材料からポリマーまで様々な試料表面の微細領域の凹凸観察や、元素の分析が可能です。
バイオナノテクノロジー，半導体，化学など様々な分野で最先端の研究開発に活用できます。
装置の特徴
- 収差補正器の組み込み、耐震性に優れたステージの採用により、低加速電圧でサブナノメートルが観察できる超高分解能を実現
- エネルギー分散形Ｘ線分析装置を装着しているため、微小領域の元素分析を非破壊で可能
- 冷陰極電界放出形電子銃を搭載
主な仕様
| 二次電子像分解能 | 0.6nm（5kV）、1.0nm（1kV） |
| 倍率 | ×25〜×2 000 000 |
| 加速電圧 | 0.5kV〜30kV |