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| 薄い試料を透過した電子を蛍光面に衝突させて、試料の拡大像を観察する装置です。ナノ薄膜の観察、ナノメートルでの分子や結晶の観察ならびに、細胞や生体物質の観察が可能です。バイオテクノロジー、半導体、化学など様々な分野で最先端の研究開発に活用できます。 |
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 | 熱電界放出形電子銃を搭載し、高分解能像観察およびナノ領域の分析に最高の性能を発揮 |
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| 加速電圧300kVのC-FEGにインカラム方式のエネルギーフィルターを利用し、TEMモード、回折モードから簡単にフィルタ像を獲得、スペクトルも安定 |
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| エネルギー分散形Ｘ線分析装置を装着しているため、微小領域の元素分析を非破壊で可能 |
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| 粒子像分解能（UHR構成） | 0.17nm | エネルギー分解能
| 0.9eV（ゼロロス半値幅） | | 加速電圧 | 最大300kV | | 電子銃 | Zr0/W
<100> ショットキー方式 | | 倍率 | ×100〜×1
500 000 | | |
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| 設置場所： バイオナノテクセンター（片柳研究所棟 地下1階分室1） |
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