施設・設備

主な装置

 
クリックで拡大写真を表示します。
電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)
クリックで拡大写真を表示します。
電界放出形走査電子顕微鏡(SEM)
クリックで拡大写真を表示します。
微細加工/電子線描画装置
クリックで拡大写真を表示します。
FT NMR装置(核磁気共鳴装置)
クリックで拡大写真を表示します。
超精密ナノ加工装置(ロボナノUiA)
クリックで拡大写真を表示します。
光電子分光装置(XPS)