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片柳研究所 東京工科大学

片柳研究所について

主な装置

電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)
電界放出形走査電子顕微鏡(SEM)
微細加工/電子線描画装置
FT NMR装置(核磁気共鳴装置)
超精密ナノ加工装置(ロボナノUiA)
光電子分光装置(XPS)